國內(nèi)某半導(dǎo)體企業(yè) 晶圓盒搬運及上下料
該項目物料為晶圓放置在晶圓盒中,AMR需按照工藝流程配送至各個機臺加工;需要關(guān)聯(lián)客戶MES系統(tǒng),物料配送請求通過MES發(fā)送,呼叫AMR將晶圓盒搬運至對應(yīng)機臺;為了緩解加工瓶頸,規(guī)劃立體料架將加工物料進(jìn)行儲存及庫位管理,實現(xiàn)動態(tài)智能配送。
面臨挑戰(zhàn)
1. 無塵車間,車間機臺多,需要實現(xiàn)精準(zhǔn)配送,對配送錯誤0容忍;
2. 車間有較多懸空凸出物體,需要避免碰撞;
3. 晶圓易碎,搬運過程需要減震處理。
解決方案
使用Oasis600UL復(fù)合機器人,由FMS調(diào)度系統(tǒng)系統(tǒng)連接工廠的MES和WMS系統(tǒng), 自動將物料送到對應(yīng)的需料機臺
硬件:2臺Oasis600UL復(fù)合機器人、8臺Oasis600UL+定制智能料架、1臺服務(wù)器、1套網(wǎng)絡(luò)方案;
軟件:Matrix部署軟件、FMS調(diào)度管理系統(tǒng)、中控系統(tǒng)。